晶圓(英語：Wafer)是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片，是生產(chǎn)集成電路（integrated circuit，IC）所用的載體。而我們現(xiàn)實(shí)中比較常見到的硅晶片就要數(shù)電腦CPU和手機(jī)芯片啦！

    什么是晶圓？

    在半導(dǎo)體行業(yè)，尤其是集成電路領(lǐng)域，晶圓的身影隨處可見。晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu)，使之成為有特定電性功能的IC產(chǎn)品。小伙伴或許在新聞中見過晶圓，通常他們是下圖的樣子。

    制作工藝決定了它是圓形的。

    對于晶圓來說，其主要成分就是單晶硅。而硅在地球上的存量十分豐富，我們隨手在地上抓一把砂子里面的主要成分就是二氧化硅。氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.999999999%。
由于提純往后的高純度多晶硅是在一個子晶(seed)上旋轉(zhuǎn)成長出來的。多晶硅被消融后放入一個坩堝(Quartz Crucible)中，再將子晶放入坩堝中勻速轉(zhuǎn)動并且向上提拉，則熔融的硅會沿著子晶向長成一個圓柱體的硅錠(ingot)。這種辦法就是現(xiàn)在一向在用的CZ法(Czochralski)，也叫單晶直拉法。

    然后硅錠在通過金剛線切割變成硅片：

    再通過打磨等等處理后就能夠進(jìn)行后續(xù)的工序了。

    為什么晶圓是圓形的呢？

    其實(shí)，就是因?yàn)檫@種特殊的工藝所致。單晶直拉法工藝中的旋轉(zhuǎn)提拉決定了硅錠的圓柱型，所以在進(jìn)行切割后大多也都是圓形。

    嚴(yán)格意義上晶圓都不是圓形的

    假如你細(xì)心看晶圓的細(xì)節(jié)圖，你也會發(fā)現(xiàn)它其實(shí)是有缺一個小口的。由下圖可見，其實(shí)晶圓有些時候也并非是純粹的圓形，而會帶有一些統(tǒng)一的缺口和棱角。這主要是為了方便讓設(shè)備對于晶圓進(jìn)行定位的，只有這樣在進(jìn)行CPU內(nèi)核的制作和切割的時候才更好確定方向。其實(shí)晶圓在整個芯片的制造中還僅僅是作為“地基”而存在的，緊接著就好像是用樂高堆積木一樣用遮蓋的方式一層一層的將積體電路堆疊組合起來。

    在整個過程中會應(yīng)用到很多技術(shù)，比如：金屬濺鍍、涂布光阻、蝕刻技術(shù)、光阻去除等，由于太過專業(yè)在這里就不再贅述。會在一整塊晶圓上完成許多IC芯片，我們只需要把它們完整地切割下來即可。然后進(jìn)行封裝、測試，最后就可以出廠使用。

    嚴(yán)格意義上一切的Wafer都不是圓形的，假如忽略那些小缺口和棱角這些小問題，那它的圓形是工藝決議的。自2012年以來，我國集成電路產(chǎn)業(yè)以年均20%以上的速度快速增長，2018年全行業(yè)銷售額6532億元，技術(shù)水平也不斷提高。中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會副理事長于燮康表示，集成電路產(chǎn)業(yè)是支持經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展的基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，也是全球性的產(chǎn)業(yè)，需要全球上下游產(chǎn)業(yè)鏈分工合作。中國集成電路市場在全球份額中仍在不斷增加。當(dāng)前全球人工智能快速發(fā)展，集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新不斷，國際化發(fā)展趨勢越發(fā)凸顯。

    因此，合格的晶圓對半導(dǎo)體及芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展也是影響深遠(yuǎn)的。越來越多的生產(chǎn)廠家迫切需要提高晶圓的產(chǎn)品效率，以此達(dá)到客戶越來越高的要求。

    那么，晶源的平整度、顆粒度、表面瑕疵的檢測就變得尤為重要，我們的檢測設(shè)備就在根源上把好晶圓的質(zhì)量關(guān)，提升晶圓產(chǎn)業(yè)效率。
應(yīng)用場景：硅片面型及翹曲檢測

    我公司進(jìn)行的面型檢測設(shè)備成像原來及呈現(xiàn)圖：

原工況：
◆檢測速度慢，
◆檢測數(shù)據(jù)不全面，
◆高精度設(shè)備及產(chǎn)品無法檢測，
◆適用面窄，
◆無法適應(yīng)高精度市場需求。

我公司面型檢測設(shè)備特點(diǎn)：
1.在線檢測，
2.速度快，
3.檢測數(shù)據(jù)全點(diǎn)面覆蓋無漏檢，
4.適用高精度器材、材料、產(chǎn)品的精細(xì)化檢測，
5.提高產(chǎn)品質(zhì)量，
6.適用方向廣泛，
7.能高速處理高精市場的產(chǎn)品需求。

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